“标准条件”的具体定义：
标准”（Standard）是这两个单位中最核心的概念，它意味着气体体积是在标准温度和压力条件下定义的。国际通用的 标准温度和压力有两种主流标准，需根据应用场景确认：
ISO 温度标准：
温度：0°C (273.15 K)
压力：101.325 kPa (1 atm)
常用领域：传统物理、化学，欧美工业领域常用
NIST / 半导体标准：
温度：20°C (293.15 K)
压力：101.325 kPa (1 atm)
常用领域：半导体、精密制造（因更接近室温）
关键影响：MFC显示的SLM/SCCM值本质是 “折算到标定温度下的等效体积流量”。同一物理质量流量，若用不同标准标定，读数差异约7%。
例如：实际流量100 g/min的氮气：
0°C标定MFC显示 ≈ 107 SLM（标准升/分钟）
20°C标定MFC显示 ≈ 100 SLM
像国内的博思飞尔生产的气体质量流量控制器的标定条件是20°C，101.325 kPa，相比较0°C ，101.325 kPa 的标定条件来说，20°C标定在室温附近，稳定性更优，误差在±0.5%以内，而0°C标定设备在高温环境下漂移显著，例如40°C时误差可达±2%。并且20°C标定在温控环境中可延长校准间隔（2–3年），而0°C标定在变温环境中需更频繁校准。
综上所述，在选择气体质量流量控制器时，要根据设备的工艺要求和工艺温度，来选择更适合的量程和标定条件，若工艺温度接近20°C，选20°C标定设备可减少温漂误差；反之低温工艺（如冷阱）可选0°C标定。返回搜狐，查看更多